仪器特点：
1.采用德国SB双重闭环运动控制系统，电机在高速运动时具有精确的定位性能。
2.采用原装日本进口COOMUSK伺服电机，提高了机器运行速度，还简化了仪器与PC机的接口，PC机与仪器通过USB线和S端子线连接。
3.采用花岗石平台、新型立柱及工作台，外观简洁大方。
4.表面光由独立40组光源组成，每一组均为恒流源驱动，200级连续可调。
5.配有我公司专用的CNC软件，大大提高测量效率。
技术规格参数：
| 仪器型号 |
VMU3020 |
VMU4030 |
VMU5030 |
工作台 |
工作台尺寸 |
600*390 |
700*540 |
800*540 |
| 玻璃台尺寸 |
350*250 |
450*350 |
550*350 |
| 运动行程X.Y |
300*200 |
400*300 |
500*300 |
| Z轴升降行程 |
200(Focus) |
200(Focus) |
200(Focus) |
| X、Y、Z轴数显分辨率 |
1.0um |
1.0um |
1.0um |
| X、Y坐标示值误差 |
≤（3.0+L/200）L为被测长度，单位：mm） |
| 仪器重量 |
330 |
450 |
500 |
| 外形尺寸 |
620*840*1620 |
720*1040*1620 |
800*1040*1620 |
| 电机 |
三轴运动速度 |
200mm/s |
| 三轴定位精度 |
0.001mm |
影像系统 |
摄像机 |
德国COMST1/3CCD摄像机 |
| 变焦镜头 |
变焦镜头带同轴光变焦镜头（二选一） |
| 变焦镜头倍率 |
0.7-4.5X |
| 视频总倍率 |
20-128X |
| 物方视场 |
11.1-1.7mm |
| 电源 |
AC220V/AC110V |
| 消耗功率 |
100W |
| 仪器配件 |
1X镜筒（标配） |
0.5X镜筒（选配） |
工作距离 |
| 变焦镜头 |
0.7-4.5X |
0.7-4.5X |
|
| 添加镜头 |
视频放大 |
物方视场 |
视频放大 |
物方视场 |
| 0.5X 可选 |
10X-64X |
22-3.4 |
5X-32X |
44-6.8 |
175 |
| 标准型 |
20X-128X |
11.1-1.7X |
10X-64X |
22-3.4 |
92 |
| 2X可选 |
40X-256X |
5.5-0.9 |
20X-128X |
11.1-1.7 |
36 |
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